Фотолитография, совокупность фотографических процессов для создания печатных форм плоской печати с высокой точностью и детализацией. Выберите подраздел для более точной классификации.


7 публикаций

Нажмите рядом со статьёй — скопируете ссылку для списка литературы по ГОСТ.

ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ СУВЕРЕНИТЕТ В ЭЛЕКТРОННОМ МАШИНОСТРОЕНИИ: ВОЗМОЖНОСТИ И ОГРАНИЧЕНИЯ В УСЛОВИЯХ ДЕГЛОБАЛИЗАЦИИ
Определение основных подходов к созданию гибкого мелкосерийного микроэлектронного производства в России
Предиктивные модели производственных процессов микроэлектроники с учетом стохастических факторов
Исследование процессов формирования и стабильности фазосдвигающих слоев на основе Mo-Si и Ta-Si для фотошаблонов под воздействием глубокого ультрафиолетового излучения с длиной волны 248 нм
ОСОБЕННОСТИ КОНТРОЛЯ ТРЕХМЕРНОГО ПРОФИЛЯ ЭЛЕМЕНТОВ И СТРУКТУР НАНОРАЗМЕРНЫХ ИС. ОБЗОР
Моделирование дифракционных эффектов при использовании фазосдвигающих слоев в фотолитографии
Создание и исследование мембран на основе сегнетоэлектрических пленок

Ещё 35 статей в подразделах